Коллоидный журнал

Залипание отдельных элементов микроэлектромеханических систем является серьезной проблемой, которая может проявляться на этапе изготовления или эксплуатации таких устройств. Для контроля этого процесса исследуется равновесное расстояние и энергия адгезии между поверхностями с нормальным распределением шероховатости. Обсуждаются характеристики исследуемых материалов, необходимые для расчетов, такие, как диэлектрические функции, шероховатость, пластические свойства материалов, а также кратко изложено базовое уравнение баланса сил. Проведены детальные расчеты для системы Si – Au в воздухе. Показано, что пластические свойства золота очень слабо влияют на энергию адгезии как функцию расстояния, но играют заметную роль для установления равновесного расстояния между поверхностями. Дальнодействующие дисперсионные силы доминируют в энергии адгезии для шероховатости со среднеквадратичным отклонением более 1 нм, поэтому энергия может быть рассчитана в рамках теории Лифшица.