Влияние условий плазменной обработки на структуру и гидрофильные свойства покрытий TiOх и СuxO/TiOх
Гаджиев М.Х., Муслимов А.Э.
Том 84 №4
В работе изучены процессы формирования, структурно-фазовый, элементный состав и гидрофильные свойства азотсодержащих покрытий TiOх, СuxO/TiOх формируемых обработкой пленок титана в потоке низкотемпературной азотной плазмы в открытой атмосфере с использованием медного анода. Показано, что скорость эрозии медного анода и режим обработки напрямую влияют на процессы синтеза и структурно-фазовый состав покрытия, его элементный состав и гидрофильные свойства. Полученные результаты демонстрируют возможности плазменной технологии формирования композитных покрытий с заданными свойствами путем варьирования материалом и скоростью эрозии анода.